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분석장비

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이온집속빔시스템

이온집속빔시스템

  • 장비명 : 이온집속빔시스템
  • 영문명 :
  • 모델명 : 이온집속빔시스템
  • 제작사 :

관리자

장비개요

. 이온빔을 이용하여 샘플의 표면을 식각 또는 2차

이온 이미지를 관찰

. 샘플의 식각을 통한 단면 관찰

. TEM시편 제작

. 2차 이온 이미징

. Pt증착을 이용한 패턴 형성

주요구성 및 성능

    . 이온빔을 이용하여 샘플의 표면을 식각 또는 2차

    이온 이미지를 관찰

    . 샘플의 식각을 통한 단면 관찰

    . TEM시편 제작

    . 2차 이온 이미징

    . Pt증착을 이용한 패턴 형성

이용방법

. 이온빔을 이용하여 샘플의 표면을 식각 또는 2차

이온 이미지를 관찰

. 샘플의 식각을 통한 단면 관찰

. TEM시편 제작

. 2차 이온 이미징

. Pt증착을 이용한 패턴 형성

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